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分类号
杂志ISSN号
离子注入机后减速的研究
作者姓名:
阚希文
王文勋
马明修
吴猛
作者单位:
北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所
摘 要:
制作大规模集成电路要求低能量、大束流的注入。为了适应这一工作的需要,我们在400keV离子注入机上采取了使离子束在较高能量下传输,在靶附近再把能量降低的方法,这种方法就叫做后减速。
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