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| 离子注入机后减速的研究 | |
| 引用本文： | 阚希文,王文勋,马明修,吴猛.离子注入机后减速的研究[J].北京师范大学学报(自然科学版),1983(4). |
| 作者姓名： | 阚希文 王文勋 马明修 吴猛 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所 |
| 摘 要： | 制作大规模集成电路要求低能量、大束流的注入。为了适应这一工作的需要,我们在400keV离子注入机上采取了使离子束在较高能量下传输,在靶附近再把能量降低的方法,这种方法就叫做后减速。 |
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