| 宽范围挠性支承精密调焦系统的设计研究 |
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| 引用本文： | 朱峰,张鸿海.宽范围挠性支承精密调焦系统的设计研究[J].应用科学学报,1994,12(2):159-164. |
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| 作者姓名： | 朱峰 张鸿海 |
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| 作者单位： | 华中理工大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，国家教委博士点基金 |
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| 摘 要： | 对宽范围挠性支承精密调焦系统进行了设计研究，给出了挠性支承的设计计算方法及公式，设计了两级杠杆放大式挠性支承机构及相应的驱动控制部分，试验证明，所研制的系统具有１８０μｍ的运动范围，系统分辨率优于０．５μｍ。还对电致伸缩微位移器在挠性支承机构中的驱动特性进行了试验研究。
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| 关 键 词： | 挠性支承 显微镜 调焦系统 |
STUDY AND DESIGN OF FLEXURE HINGE PRECISE POSITIONING SYSTEM HAVING RELATIVE WIDE RANGE |
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| ZHU FENG ZHANG HONGHAI CHEN RIYAO HUANG QIKUI.STUDY AND DESIGN OF FLEXURE HINGE PRECISE POSITIONING SYSTEM HAVING RELATIVE WIDE RANGE[J].Journal of Applied Sciences,1994,12(2):159-164. |
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| Authors: | ZHU FENG ZHANG HONGHAI CHEN RIYAO HUANG QIKUI |
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| Institution: | Huazhong University of Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | flexure hinge precise positioning lever amplification |
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