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| 316L钢+Al_2O_3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究 | |
| 引用本文： | 邱秀丽,胡显奇.316L钢+Al_2O_3金属陶瓷复合膜的制备与组织性能研究[J].科技咨询导报,2006(8). |
| 作者姓名： | 邱秀丽 胡显奇 |
| 作者单位： | 罗定职业技术学院，深圳市黄金屋真空科技有限公司 广东罗定 527200，广东深圳 51800 |
| 摘 要： | 用直流磁控溅射和射频磁控溅射共沉积在316L高速钢基体上制备了金属陶瓷复合薄膜。XRD检测表明,复合薄膜中主要以Fe-Cr相为主,并表现出较强的(110)和弱的(211)择优取向。SEM形貌分析显示,复合薄膜表面呈均匀颗粒状,断面形貌为明显的致密等轴晶结构,并具有良好的高温抗氧化性。硬度和耐磨性测试表明,复合薄膜的力学性能比316L块体的有明显改善。 |
| 关 键 词： | 金属陶瓷复合膜 射频溅射R．F Al2O3 奥氏体不锈钢 |
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