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分类号
杂志ISSN号
新型纳米压印光刻技术的研究和应用
作者姓名:
屈新萍
作者单位:
复旦大学信息科学与工程学院
摘 要:
纳米压印(nanoimprint)这个词汇从1995年发明到现在,目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米,已经越来越走进我们的生活,随着纳米技术的大量应用,纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电视宣传所赐,越来越多人知道我们使用的电脑里Intel双核CPU采用的芯片是“45纳米技术”.这个技术就是目前大规模集成电路生产技术。
关 键 词:
纳米压印
光刻技术
应用
大规模集成电路
纳米技术
双核CPU
Intel
电视宣传
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