| 一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺 |
| |
| 引用本文： | 马薇,李世玮,虞吉林.一种新颖的四梁式压电薄膜微型陀螺[J].中国科学技术大学学报,2000,30(4):401-405. |
| |
| 作者姓名： | 马薇 李世玮 虞吉林 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学力学和机械工程系,合肥,230026
2. 香港科技大学机械工程系,香港九龙清水湾 |
| |
| 摘 要： | 利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜 .基于压电反效应 ,微型陀螺在其谐振频率上被 0 .3V的交流信号驱动 .由其压电正效应 ,可检测到与转动角速度成正比的输出信号 .本文介绍了该微型陀螺的设计原理 .实验结果证实了理论预测 .
|
| 关 键 词： | 压电效应 科里奥利力 微机械制造 IC兼容技术 微型陀螺 |
A New Four-Beam Sensor Piezoelectric Microgyroscope |
| |
| MA Wei,SHI-Wei Ricky Lee,YU Ji-lin.A New Four-Beam Sensor Piezoelectric Microgyroscope[J].Journal of University of Science and Technology of China,2000,30(4):401-405. |
| |
| Authors: | MA Wei SHI-Wei Ricky Lee YU Ji-lin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | piezoelectric Coriolis force micro machine fabrication IC technology micro gyroscope |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
