敏兰紫光电探测器的研制 |
| |
作者姓名: | 张福甲 王德明 等 |
| |
摘 要: | 用能量是100kev,剂量为10^13cm的Zn离子,注入到n-GaP单晶补氏所制做的光电探测器,它对波长为380nm-440nm的光具有敏感性。利用俄歇能谱(AES)和x光电子能谱(ESCA),对注入剖面的杂质分布进行了研究。结果表明,注入的Zn离子,它的2p3/2电子的结合能是1021.lev,比它的标准值低0.4ev,由测试结果给出了这种光电探测器的最大量子效率是34%。
|
关 键 词: | 敏兰紫光电探测器 半导体探测器 量子效率 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|