关于气体裂化法生长β-碳化硅的问题 |
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引用本文: | 郭祝崑,陈显求.关于气体裂化法生长β-碳化硅的问题[J].科学通报,1964,9(3):266-266. |
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作者姓名: | 郭祝崑 陈显求 |
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作者单位: | 郭祝崑
陈显求 |
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摘 要: | 随着碳化硅单晶应用的发展,十余年来,研究者們对于气体裂化法作为一种合成碳化硅单晶体的方法进行了頗多的工作。历来的研究者們认为,裂化法的优点在于易制得高純度的晶体;但他們的注意力主要是集中在如何使晶体生长到足够大
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