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| 高浓度硼、磷扩散后光刻中“染色现象”的分析 | |
| 引用本文： | 凌芳.高浓度硼、磷扩散后光刻中“染色现象”的分析[J].兰州大学学报(自然科学版),1976(4). |
| 作者姓名： | 凌芳 |
| 作者单位： | 物理系半导体专业 73级学员 |
| 摘 要： | 引言MOS 集成电路是近年来发展起来的一种新型集成电路,它的工作原理完全不同于普通双极型集成电路,由于它具有输入阻抗高。噪音系数低、功耗小、制造工艺简单等优点,目前 MOS 集成电路已成为国防工业和国民经济中迫切需要的产品。 |
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