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| DLC多层膜对9Cr18微动磨损性能的影响 | |
| 引用本文： | 郭军霞,陈秋龙,蔡珣,韩兆隆.DLC多层膜对9Cr18微动磨损性能的影响[J].上海交通大学学报,2001,35(12):1902. |
| 作者姓名： | 郭军霞 陈秋龙 蔡珣 韩兆隆 |
| 摘 要： | 采用等离子体源离子注入(PSII)技术在9Cr18基体上制备类金刚石碳膜(DLC)多层膜,比较了该多层膜与N注入层对基体微动磨损性能的影响.结果表明,注入N后,改性层内形成了CrN、Cr2N和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高9Cr18不锈钢的抗微动磨损性能,实验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的抗微动磨损性.这与最外层DLC膜的高硬度和低摩擦系数有关. |
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