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弯曲相变界面对晶体生长径向分凝的影响
引用本文:
(胡文瑞,(平田彰.弯曲相变界面对晶体生长径向分凝的影响[J].科学通报,1996,41(23):2139-2143.
作者姓名:
(胡文瑞
(平田彰
作者单位:
[1]中国科学院力学研究所 [2]日本早稻田大学应用化学系
摘 要:
二元合金半导体晶体生长的径向组分均匀性是一个重要参数。影响径向分凝的因素很多,如对流、弯曲的凝固界面、弯曲的熔化界面等。为了理解每种作用对径向分凝的影响,往往用简单模型给出分析1/2a。更完整的问题必须用数值方法研究耦合过程。
关 键 词:
晶体生长
扩散过程
半导体
二元合金
弯曲
收稿时间:
1996-05-28
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