背压法氦质谱检测系统研制 |
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引用本文: | 许贵平,刘卫,高三杰.背压法氦质谱检测系统研制[J].科技咨询导报,2014(17):57-58. |
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作者姓名: | 许贵平 刘卫 高三杰 |
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作者单位: | 中国核动力研究设计院,四川成都610041 |
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摘 要: | 工程应用中需开展背压法氦质谱检测系统展开研究和设计开发,设计内容主要包括氦质谱检漏仪技术参数确定、预抽真空系统设计、真空容器设计以及控制系统设计等,对氦质谱检测系统的仪器灵敏度、系统灵敏度及系统反应时间等性能参数进行了测定,结果表明检测系统具有检测灵敏度高和检测效率高等优点,满足使用要求。
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关 键 词: | 氦质谱检漏 背压法 预抽真空系统 |
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