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| 微机电器 | |
| 引用本文： | 梅金妹.微机电器[J].世界科学,1999(7):33-33. |
| 作者姓名： | 梅金妹 |
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| 摘 要： | 微机电器是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，它涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集中了当今科学技术的许多尖端成果。这一领域的特点是集微型机械、微型传感器、接口、通讯和电源等技术于一体的微型电器。微机电器的发展概况微机电器约有刀年的发展历史，但真正取得进展是近10多年的事，且随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来。1％2年第一个硅微型大压力传感器问世，其后开发出尺寸为如一5阳微米的齿轮、齿轮泵等微型机械。美国在微机电器领域研制开发较… |
| 关 键 词： | 微机电器 电器 发展趋势 特点 |
微机电器 |
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