| 三自由度精密定位工作台的设计与运动学分析 |
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| 引用本文： | 贾晓辉,张大卫.三自由度精密定位工作台的设计与运动学分析[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2010,43(5). |
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| 作者姓名： | 贾晓辉 张大卫 |
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| 作者单位： | 天津大学机械工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对精密柔性工作台多自由度高精度运动的需求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度定位平台,通过建立的伪刚体模型进行运动学正解分析,并引入修正系数消除长杆柔性及柔性铰链中心偏移对工作台位移输出的影响,进一步提高了所建数学模型的精确度.利用有限元分析工具仿真了所设计的定位工作台的性能,确定了该工作台的修正系数矩阵,最终仿真试验验证了所建运动学模型的正确性.
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| 关 键 词： | 压印光刻 机构设计 运动学建模 |
Design and Forward Kinematics of 3-DOF Precision Positioning Stage |
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| JIA Xiao-hui,ZHANG Da-wei.Design and Forward Kinematics of 3-DOF Precision Positioning Stage[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2010,43(5). |
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| Authors: | JIA Xiao-hui ZHANG Da-wei |
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