退火方式对镍钛钪合金薄膜微结构的影响 |
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作者姓名: | 金永军 赵春旺 |
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作者单位: | 内蒙古工业大学理学院,呼和浩特010051;上海海事大学文理学院,上海201306 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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摘 要: | 选用具有氮化硅镀层的硅片做为基片,采用磁控溅射方法制备了近等原子比镍钛钪合金薄膜,分别采用快速热处理和传统热处理对合金薄膜进行了退火,使用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的微结构和表面形貌。结果显示薄膜呈现柱状生长,不同的退火方式影响薄膜的析出相,快速退火处理后,随着钪含量的增加,B2奥氏体相占优并伴随Ni4Ti3析出相;而传统热处理过程还会析出Ti2Ni相。
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关 键 词: | 镍钛钪合金薄膜 析出相 微结构 退火 |
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