磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO：Al透明导电薄膜

用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性，低电阻率、高透射率ＺｎＯ：Ａｌ的透明导电膜，研究了薄膜的结构、电学和光学特性。