| TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究 |
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| 引用本文： | 陈涛,邱亚琴,李楚容,朱兰. TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2003, 31(2): 43-44 |
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| 作者姓名： | 陈涛 邱亚琴 李楚容 朱兰 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系 |
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| 摘 要： | 成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪。改装后的椭偏仪不含λ/4波长片，而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪，它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ)。
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| 关 键 词： | TP77椭圆偏振光测厚仪 椭圆光度法 折射指数 消光指数 光学测量 广谱椭偏仪 |
| 文章编号： | 1671-4512(2003)02-0043-02 |
| 修稿时间： | 2002-07-11 |
Extension of ellipsometer′s function for thickness measure of thin film |
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| Chen Tao Qiu Yaqin Li Churong Zhu Lan Chen Tao Assoc. Prof., Dept. of Electronic Sci. , Tech.,Huazhong Univ. of Sci. , Tech.,Wuhan ,China.. Extension of ellipsometer′s function for thickness measure of thin film[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2003, 31(2): 43-44 |
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| Authors: | Chen Tao Qiu Yaqin Li Churong Zhu Lan Chen Tao Assoc. Prof. Dept. of Electronic Sci. & Tech. Huazhong Univ. of Sci. & Tech. Wuhan China. |
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| Affiliation: | Chen Tao Qiu Yaqin Li Churong Zhu Lan Chen Tao Assoc. Prof., Dept. of Electronic Sci. & Tech.,Huazhong Univ. of Sci. & Tech.,Wuhan 430074,China. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ellipsometer refraction exponent extinction exponent optical measurement |
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