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| TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究 | |
| 作者姓名： | 陈涛 邱亚琴 李楚容 朱兰 |
| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系;华中科技大学电子科学与技术系;华中科技大学电子科学与技术系;华中科技大学电子科学与技术系 |
| 摘 要： | 成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪。改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ)。 |
| 关 键 词： | 椭圆光度法 折射指数 消光指数 光学测量 |
| 文章编号： | 1671-4512(2003)02-0043-02 |
| 修稿时间： | 2002-07-11 |
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