| 面向MEMS系统级仿真的宏模型研究 |
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| 引用本文： | 关乐,褚金奎,齐东周,王晓东,王立鼎.面向MEMS系统级仿真的宏模型研究[J].系统仿真学报,2009,21(15). |
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| 作者姓名： | 关乐 褚金奎 齐东周 王晓东 王立鼎 |
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| 作者单位： | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116023;辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连116023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划项目 |
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| 摘 要： | 典型微机电系统由受多能量域约束的功能器件与集成电路信号处理元件构成,具有多物理场耦合的特点.利用宏模型进行快速的系统级仿真分析是求解耦合MEMS静、动态行为的有效方法.对目前建立MEMS器件宏模型的方法做了系统总结,重点介绍了基于伽辽金思想的基函数叠加和基于有限元方程的矩阵子空间投影等数值宏建模方法,比较了各种方法的优缺点并给出了不同方法的适用条件和选择原则,讨论了目前系统级仿真面临的主要难点并提出了未来宏建模方法的发展方向.
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| 关 键 词： | 微机电系统 解析宏模型 数值宏模型 非线性宏模型 |
Review of Research on Macromodel for MEMS System-level Simulation |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS analytical macromodel numerical macromodel nonlinear macromodel |
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