| 支承硅微谐振器的弹性系统分析 |
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| 引用本文： | 丁晓红,陈晓阳,张志红.支承硅微谐振器的弹性系统分析[J].苏州大学学报(医学版),2000,16(3):45-51. |
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| 作者姓名： | 丁晓红 陈晓阳 张志红 |
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| 作者单位： | [1]苏州大学工学院机电工程系,江苏苏州 [2]上海大学轴承研究所,上海 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59875055) |
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| 摘 要： | 对支承硅微谐振器的两种弹性系统－－直脚型和蟹脚型结构进行了全面的力学分析，给出了应力、位移及弹性常数等力学参量的计算方法，对两种结构进行了比较，并对蟹脚型结构进行了优化设计，优化后的结构其应力位移比值σｍａｘ／Ｘ的最小值可达２．５９４ＭＰａ／μｍ，分析结果对硅微结构的设计具有一定的指导意义。
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| 关 键 词： | 硅微谐振器 应力 位移 弹性常数 |
| 文章编号： | 1000-2073(2000)03-0045-07 |
| 修稿时间： | 2000-05-19 |
The elastic systems analysis of guiding Microresonant-Structure |
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| DING Xiao-hong,CHEN Xiao-yang,ZHANG Zhi-hong.The elastic systems analysis of guiding Microresonant-Structure[J].Journal of Suzhou University(Natural Science),2000,16(3):45-51. |
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| Authors: | DING Xiao-hong CHEN Xiao-yang ZHANG Zhi-hong |
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| Institution: | DING Xiao-hong
;(Dept, of Mech. Engin., School of Engin., Suzhou Univ., Suzhou 215006, China);CHEN Xiao-yang
;(Inst. Of Bearing, Shanghai Univ., Shanghai 200072, China);ZHANG Zhi-hong
;(Dept, of Mech. Engin., School of Engin., Suzhou Univ., Suzhou 215006, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Microresonant-Structure stress deflection flexural spring constant optimal design |
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