| 旋转喷镀法制备GHz高磁导率NiZn铁氧体膜 |
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| 引用本文： | 沈翔,冯则坤,龚荣洲,刘昌辉.旋转喷镀法制备GHz高磁导率NiZn铁氧体膜[J].华中科技大学学报(自然科学版),2007,35(5):76-78,94. |
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| 作者姓名： | 沈翔 冯则坤 龚荣洲 刘昌辉 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 用自研设备将加压的反应溶液Fe2 Cl2( Fe3 Cl3) NiCl2 ZnCl2和缓冲溶液CH3COONH4以一定流量同时喷镀在90℃转盘上的玻璃衬底上以单质氧为氧化剂生成了厚度1～2 μm的NiZn铁氧体薄膜.X射线衍射数据表明制备的NiZn铁氧体薄膜具有尖晶石结构.氧化液pH值等于8.8时制备的薄膜的组成是Ni0.25Zn0.09Fe2.66O4,有313 kA/m的大的饱和磁化强度和692.5 A/m的低的矫顽力.在0.1 GHz到3.5 GHz频率范围内用Agilent 8722ES矢量网络分析仪通过短路微带线微扰法测量了薄膜的复数磁导率.薄膜的复磁导率的实部μ'r在0.5 GHz为36.1,虚部μ"r在0.8 GHz达最大值55.5.磁导率虚部值在0.5～2 GHz频率范围大于20,制备的薄膜将可以应用于微波频段的电磁干扰抑制器.
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| 关 键 词： | Ni-Zn铁氧体薄膜 旋转喷镀法 复磁导率 |
| 文章编号： | 1671-4512（2007）05-0076-03 |
| 修稿时间： | 2006-03-10 |
Spin-spray plated NiZn ferrite films with highly permeable in gigahertz range |
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| Shen Xiang,Feng Zekun,Gong Rongzhou,Liu Changhui.Spin-spray plated NiZn ferrite films with highly permeable in gigahertz range[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2007,35(5):76-78,94. |
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| Authors: | Shen Xiang Feng Zekun Gong Rongzhou Liu Changhui |
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| Institution: | Deptartment of Electronic Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | NiZn ferrite thin films pin-spray plating method complex permeability |
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