| 低压气相金刚石中杂质氢的红外光谱研究 |
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| 引用本文： | 傅慧芳,张湘辉,颜恩涛,刘顺生.低压气相金刚石中杂质氢的红外光谱研究[J].科学通报,1999,44(9):998-1001. |
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| 作者姓名： | 傅慧芳 张湘辉 颜恩涛 刘顺生 |
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| 作者单位： | 中国科学院长沙大地构造研究所!长沙410013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!(批准号 :4 96 4 2 0 0 4 ,4 96 72 10 0 ) |
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| 摘 要： | 在直流弧光放电等离子体化学气相法生长的薄膜金刚石上观察到 2 85 2 .4,2 92 4.3,2 96 3.0和 30 34 .9cm-1的红外吸收谱峰 ,前 3条波峰为sp3 结构的C—H振动吸收 ,30 34 .9cm-1为sp2 结构的C—H振动吸收 .研究了CH4浓度和H2 流量对C—H振动吸收的影响 .电子顺磁共振研究表明 ,在低压气相薄膜金刚石中存在相当浓度的缺陷
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| 关 键 词： | 金刚石 杂质氢 红外光谱 薄膜生长 CVD |
| 收稿时间： | 1998-06-03 |
| 修稿时间： | 1998-08-24 |
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