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| 三氯乙烯(TCE)氧化探讨 | |
| 作者姓名： | 易新建 刘平秀 潘正达 郑银姣 |
| 摘 要： | 本文讨论了三氯乙烯氧化的工艺条件及其对清除Na~ 沾污、提高介质击穿电压、消除金属杂质、改善p-n结特性等方面的功能.作者发现,三氯乙烯的最佳流量(N_2携带TCE流量)随氧化温度的提高而减少.此外,还摸索出处理氧化炉管发黑的一种简便而有效的方法. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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