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| DJL-600型碳化硅单晶炉运行维护与故障排除 | |
| 作者单位： | ;1.新疆天科合达蓝光半导体有限公司 |
| 摘 要： | 介绍了DJL-600型碳化硅单晶炉的基本结构和电气控制系统的工作原理,结合实际工作经验和设备的结构特点阐述了DJL一600型单晶炉的维护和常见故障排除方法。 |
| 关 键 词： | 碳化硅单晶炉 运行维护 故障 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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