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微透镜列阵制备技术获得新突破
摘 要:
光电所]日前,中科院光电所第四研究室微光学研究小组以国家工程项目需求为牵引,通过发展新工艺,在基于曲面载体的微透镜阵列研制方面取得新的突破,在国内首次实现了基于曲面载体的微光学结构制备。微结构子口径可以从几微米拓展到毫米级,子孔径形貌可以是四边
关 键 词:
制备技术
微透镜阵列
微光学元件
国内首次
曲面
工程项目
微结构
子孔径
载体
新工艺
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