电泳沉积法制备SrTiO_3薄膜电极的工艺研究 |
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作者姓名: | 赵群 刘菲 卢琳 李智敏 黄伟 |
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作者单位: | 西安电子科技大学材料科学与工程 |
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摘 要: | 纳米SrTiO_3具有很广泛的用途,其电泳沉积工艺低成本、易操作,可广泛应用于实验室研究。该文从粉体浓度、碘浓度、沉积电压、沉积时间共4个方面对电泳沉积工艺进行了讨论,得出在电压5 V、SrTiO_3浓度3.5%、碘浓度1.0 mg/m L、600 s条件下沉积的薄膜电极较好,表面均匀,膜厚约为70μm。该实验可作为专业基础实验面向材料、化学专业的本科生、硕士生开放。
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