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| 滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析 |
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| 引用本文： | 杨文韬,王立威,梁一平,肖立勇,韩文娟 .滤波正弦相位调制干涉测量技术误差分析 [J].重庆师范大学学报(自然科学版),2016(2):159. |
| 作者姓名： | 杨文韬 王立威 梁一平 肖立勇 韩文娟 |
| 作者单位： | 六盘水师范学院物理与电子科学系,贵州六盘水553004；六盘水光机电工程中心, 贵州六盘水553004；重庆师范大学物理与电子工程学院，重庆401331 |
| 摘 要： | 基于正弦相位调制干涉测量是当前国际前沿的高精度光学测量技术, 在位移、 形貌等测量中得到广泛应用。通常采用傅里叶变换进行频谱分析提取相位参数, 测量中需要处理庞大的数据, 测量仪器难以快速获得测量结果, 严重限制了正弦相位调制干涉的使用范围。为了降低传统频谱分析处理信号的复杂性, 采用了滤波技术处理相位信息。在数据处理时直接采用低通滤波器滤除高次谐波成分, 通过误差分析可知运用滤波技术处理干涉信号, 公式本身引起的误差非常小, 最大仅为 0. 9% ; 当调制频率波动为 0. 0 1H z 时, 位移误差最大为 0. 1n m , 误差可以忽略不计。 |
| 关 键 词： | 测量 正弦相位调制 滤波 干涉 误差 |
Error Analysis of Sinusoidal Phase Modulating Interferometry Technique Base on Filter Wave |
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| YANG Wentao,WANG Liwei,LIANG Yiping,XIAO Liyong,HAN Wenjuan .Error Analysis of Sinusoidal Phase Modulating Interferometry Technique Base on Filter Wave [J].Journal of Chongqing Normal University:Natural Science Edition,2016(2):159. |
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| Authors: | YANG Wentao WANG Liwei LIANG Yiping XIAO Liyong HAN Wenjuan |
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