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| 高分子膜电容式湿度传感器 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 一、主要技术内容 高分子膜电容式湿敏元件是采用物化性能稳定、耐高温的高分子聚合物做湿敏材料,用成熟的薄膜平面化工艺方法制成微型片式湿敏电容.高分子膜的吸湿、脱湿引起介电常数变化,从而改变其电容值,电容值的增量正比于相对湿度且呈线性变化. |
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