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| 热壁外延（HWE）制造PbTe／PbSnTe异质结和超晶格 | |
| 引用本文： | 杨玉琨,熊欣.热壁外延（HWE）制造PbTe／PbSnTe异质结和超晶格[J].辽宁大学学报(自然科学版),1996,23(3):26-30. |
| 作者姓名： | 杨玉琨 熊欣 |
| 作者单位： | [1]吉林大学分析测试实验中心 [2]辽宁大学电子系 |
| 摘 要： | 本文于国内首次报导，利用简化的热壁外延（ＨＷＥ）装置在ＢａＦ２（１１１）衬底上生长了Ⅳ－Ⅵ族半导体单晶外延层，制备了ＰｂＴｅ／ＰｂＳｎＴｅ异质结和具有２０个周期的超晶格。测试结果表明，所制备的外延层的晶体结构完美，异质结具有良好的整流特性。通过Ｘ－光衍射求出了超晶格的周期。超晶格样品（２２２）衍射峰的卫生峰不对称，说明样品内有应变。 |
| 关 键 词： | 热壁外延 异质结 超晶格 碲化铅 铅锡碲化合物 |
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