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| 最佳退火降温速率时间函数及一些类似过程分析 | |
| 引用本文： | 方宝贤.最佳退火降温速率时间函数及一些类似过程分析[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1988(2). |
| 作者姓名： | 方宝贤 |
| 作者单位： | 美国波士顿学院物理系 |
| 摘 要： | 1 最佳降温率数年前,顾世洧建立了在半导体器件生产中用控制降温速率达到消除晶体缺陷的最佳件: dT/dt=-AnvT~2exp(-U/kT) (1) 式中T为退火过程中的温度;t为降温时间;n为杂质原子密度;v为近邻原子振动频率;U为迁移势垒高度Uk为玻尔兹曼常数;A为一综合常数,为正数。详见文献1]。本文稍有改动是为简化表达。 |
| 关 键 词： | 退火温度 降温速率 时间函数 |
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