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非晶硅多层膜中的核反应分析研究

引用本文：	汪永强,郑志豪.非晶硅多层膜中的核反应分析研究[J].兰州大学学报(自然科学版),1991,27(3):53-58.

作者姓名：	汪永强郑志豪

摘要：
关键词：	半导体薄膜非晶硅膜氢浓度分布
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