| 磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 唐茜,黎兵,刘才,李愿杰,冯良桓,李卫. 磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究[J]. 四川大学学报(自然科学版), 2008, 45(3): 619-622 |
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| 作者姓名： | 唐茜 黎兵 刘才 李愿杰 冯良桓 李卫 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;四川大学材料科学与工程学院,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（60506004）；国家高技术研究与发展计划（2003-AA513010） |
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| 摘 要： | 用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜. 研究了衬底温度对薄膜结构的影响. 得出400 ℃时沉积的薄膜结晶最好，为六方纤锌矿结构，在可见光范围内有较高的透过率，其光能隙为3.81 eV.
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| 关 键 词： | ZnS 纳米级薄膜 |
Study of Nano-magnitude ZnS thin films prepared by magnetron sputtering technique |
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| TANG Qian,LI Bing,LIU Cai,LI Yuan-Yie,FENG Liang-Huan,LI Wei. Study of Nano-magnitude ZnS thin films prepared by magnetron sputtering technique[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 2008, 45(3): 619-622 |
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| Authors: | TANG Qian LI Bing LIU Cai LI Yuan-Yie FENG Liang-Huan LI Wei |
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| Affiliation: | College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University;College of Materials Science and Engineering, Sichuan University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnS nano-magnitude thin film |
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