多孔硅的微结构与光致发光谱

采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ），原子力显微镜（ＡＦＭ）和光致荧光光谱（ＰＬ），对多孔硅的微结构和光致可见发射进行了研究，结果表明，多孔硅的发光机理与其微结构之间有着密切的联系，多孔硅是大量的晶体结构的柱状或球状硅组成的，并且呈现一种有序结构，人们较普遍认为，多孔硅的有效发光是起源于电化学腐蚀过程形成的纳米结构－硅量子线或量子点，本实验的结果与这一模型的相吻合。