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| BD_101型半导体表面钝化台 | |
| 引用本文： | 王清福.BD_101型半导体表面钝化台[J].华南师范大学学报(自然科学版),1981,0(1):0. |
| 作者姓名： | 王清福 |
| 摘 要： | 本文主要是介绍BD-101型半导体表面钝化台.评述了用化学汽相淀积方法生长二氧化硅膜使硅表面钝化的工作.该项工作导致集成电路用的双极晶体管和绝缘栅场效应晶体管的性能和稳定性得到提高. |
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