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| 砷化镓材料的激光微孔技术 | |
| 作者姓名： | 罗廷礼 王英才 林永良 |
| 作者单位： | 河北省科学院激光研究所，河北省科学院激光研究所，河北省科学院激光研究所 |
| 摘 要： | 激光打孔是砷化镓场效应晶体管生产中的一项新技术。该工艺能够提高器件的功率和截止频率。通过对砷化镓衬底上近万个激光微孔的观察和归纳分类,我们分析了其成孔机理及微观过程;总结出了成孔规律并得出了成孔结果。 |
| 关 键 词： | 激光打孔(Laser microdrilling) 砷化镓场效应晶体管衬底(GaAsFET substrate) |
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