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砷化镓材料的激光微孔技术
作者姓名:罗廷礼  王英才  林永良
作者单位:河北省科学院激光研究所,河北省科学院激光研究所,河北省科学院激光研究所
摘    要:激光打孔是砷化镓场效应晶体管生产中的一项新技术。该工艺能够提高器件的功率和截止频率。通过对砷化镓衬底上近万个激光微孔的观察和归纳分类,我们分析了其成孔机理及微观过程;总结出了成孔规律并得出了成孔结果。

关 键 词:激光打孔(Laser microdrilling)  砷化镓场效应晶体管衬底(GaAsFET substrate)
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