| 硅基PN结型光波导有效折射率的定量分析 |
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| 引用本文： | 孙圣现,陈柏松,李雨轩,李盈祉,张蓝萱,陶敏,宋俊峰.硅基PN结型光波导有效折射率的定量分析[J].吉林大学学报(信息科学版),2021,39(3):318-323. |
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| 作者姓名： | 孙圣现 陈柏松 李雨轩 李盈祉 张蓝萱 陶敏 宋俊峰 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院,长春130012;吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春130012 |
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| 摘 要： | 为解决脊型波导相位调制的有效折射率测量问题,提出一种3 端口MZI(Mach-Zehnder Interferometer)结构,能定量测量并分析PN 结(Positive-Negative junction)脊型硅光波导中,有效折射率的实部和虚部受偏置电压调制的相对变化,并给出多项式拟合方程.实验所得结果与拟合结果非常符合,最终可以得到脊型波导在相位调制过程中的特性.该测量方法简单易行,可应用于硅基光电子集成芯片当中,作为载流子调制特性定量检测器件.
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| 关 键 词： | 硅基光波导 载流子色散 高速硅基光电调制器 马赫-曾德尔调制器 相位调制 |
Effective Refractive Index Quantitative Analysis of Silicon-Based PN Junction Optical Waveguide |
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| SUN Shengxian,CHEN Bosong,LI Yuxuan,LI Yingzhi,ZHANG Lanxuan,TAO Min,SONG Junfeng.Effective Refractive Index Quantitative Analysis of Silicon-Based PN Junction Optical Waveguide[J].Journal of Jilin University:Information Sci Ed,2021,39(3):318-323. |
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| Authors: | SUN Shengxian CHEN Bosong LI Yuxuan LI Yingzhi ZHANG Lanxuan TAO Min SONG Junfeng |
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