|
|||||
|
|
| Al2O3,ZrO2功能薄膜的性能及制备技术 | |
| 引用本文： | 惠松骁,周卓华.Al2O3,ZrO2功能薄膜的性能及制备技术[J].信息与开发,1996(1):19-22. |
| 作者姓名： | 惠松骁 周卓华 |
| 摘 要： | 简述了Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２功能薄膜的国内外研究概况，性能、用途及制备技术现状，展望了其今后的应用前景及需要解决的问题。 |
| 关 键 词： | 功能薄膜 氧化物 制备技术 薄膜材料 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |