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| MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究 | |
| 作者姓名： | 郭永刚 蒋丽 |
| 作者单位： | 1. 核理化工程研究院 天津 300180 2. 天津职业技术师范大学 天津 300222 |
| 摘 要： | MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计,精度达万分之五,常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题,在探讨其内部结构、工作原理后,给出利用现有设备对其进行精度调整的方法。实际检测证明：该方法简单实用,可操控性强,可为国内其他单位所借鉴。 |
| 关 键 词： | 真空测量 电容薄膜真空计 标准 校准 精度调整 |
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