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| 微结构光学研究进展 | |
| 引用本文： | 周常河,席鹏,等.微结构光学研究进展[J].世界科学,2001(3):28-29. |
| 作者姓名： | 周常河 席鹏 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 摘 要： | 微结构光学是一门属于多门前沿学科交叉的新兴学科 ,正处在产生重要研究成果的前沿 ,极有可能引发新兴产业。随着微电子工艺技术的进展 ,人们可以加工出越来越细的线宽 ,0 35微米线宽目前已在商品化生产线中采用 ,正在积极准备把 0 1 8微米线宽工艺技术推向市场 ,80纳米线宽已在某些实验室中成功做出。按照摩尔定律 ,更细线宽的加工能力继续取得进展 ,这说明人类正具有前所未有的微小尺度的加工能力 ,由此极可能引发新一轮光学产业技术革命。值得说明的是微电子工艺技术并不完全是微光学技术 ,如何设计、优化 ,并利用微电子工艺技术制造微… |
| 关 键 词： | 微结构光学 介观光学 四维亚波长微结构光学 密集波分复用器件 微光电机扫描系统 |
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