| 纳米SnO_2薄膜的制备、结构和性能研究 |
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| 引用本文： | 李明华,宋淑芳,季秉厚. 纳米SnO_2薄膜的制备、结构和性能研究[J]. 内蒙古大学学报(自然科学版), 2000, 0(4) |
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| 作者姓名： | 李明华 宋淑芳 季秉厚 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学物理学系!内蒙古呼和浩特，010021，北京科技大学材料物理系，北京100083，内蒙古大学物理学系!内蒙古呼和浩特010021，内蒙古大学物理学系!内蒙古呼和浩特010021 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 在真空度为 1 3 3 .3μPa时 ,用真空气相沉积方法在玻璃衬底上沉积 Sn O2 薄膜 .通过XRD、SEM等测试分析 ,研究了杂质掺杂及热处理前后的 Sn O2 薄膜的结构、晶粒尺寸、电学特性以及不同工艺条件对薄膜性能的影响 .结果表明 ,掺 Bi有效地抑制了晶粒生长 ,提高了薄膜的稳定性 .掺 Bi后 ,薄膜的电学特性增强 ,而掺 In、Cd则影响不大 .
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| 关 键 词： | 纳米SnO_2薄膜 制备 结构 性能 |
Studies of the Preparation,Structure and Properties of the Nano-SnO_2 Thin Films |
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| LI Minghua ,,SONG Shufang,JI Binghou. Studies of the Preparation,Structure and Properties of the Nano-SnO_2 Thin Films[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol, 2000, 0(4) |
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| Authors: | LI Minghua SONG Shufang JI Binghou |
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| Affiliation: | LI Minghua 1,2,SONG Shufang1,JI Binghou1 |
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| Keywords: | Nano-SnO_2 thin films preparation structure properties |
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