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| 三电极微细电解加工脉冲电源 | |
| 作者姓名： | 孔全存 李勇 刘国栋 李朝将 佟浩 |
| 作者单位： | 清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室;北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金面上项目(51275255);江苏省数字化电化学加工重点建设实验室(常州工学院)开放基金资助项目(KFJJ2004005) |
| 摘 要： | 脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微细槽的电解加工实验显示:采用三电极脉冲电源在中性NaNO3电解液中的微细电解加工,蚀除速率从两电极脉冲电源的3.21×10-4 mm3/s提高至6.62×10-4 mm3/s,有效地提高了加工效率;该电源在维持钝性电解液中加工定域性好和中性电解液的环保优势的同时,又具有偏酸性电解液中加工后表面质量高的优点,加工表面粗糙度Ra从0.52μm降至0.28μm。初步实验验证了具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源的可行性。 |
| 关 键 词： | 微细电解加工 脉冲电源 三电极 界面加酸 抑气促溶 |
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