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| PETEOS发射光谱分析 | |
| 引用本文： | 张健,何奕骅.PETEOS发射光谱分析[J].华东师范大学学报(自然科学版),1995(1):39-42. |
| 作者姓名： | 张健 何奕骅 |
| 作者单位： | 上海华东师范大学电子工程系 |
| 摘 要： | 现场采集ＰＥＴＥＯＳ发射光谱，分析和研究用等离子体正硅酸乙酯淀积氧化硅反应的机理和产物，并初步探究如何达到工艺控制，应用于生产的问题。 |
| 关 键 词： | 正硅酸乙酯 等离子体 氧化硅薄膜 光谱分析 |
Optical Emission Spectroscopy Studies of PETEOS |
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| ZhangJian,He Yihua,Xu Chunfang.Optical Emission Spectroscopy Studies of PETEOS[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),1995(1):39-42. | |
| Authors: | ZhangJian He Yihua Xu Chunfang |
| Abstract: | |
| Keywords: | TEOS PETEOS |
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