| 基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究 |
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| 引用本文： | 王伟,王宗文,蔡建南. 基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究[J]. 福州大学学报(自然科学版), 2011, 39(1): 143-147 |
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| 作者姓名： | 王伟 王宗文 蔡建南 |
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| 作者单位： | 福州大学食品安全分析与检测技术教育部重点实验室福建省食品安全分析与检测技术重点实验室;福州大学化学化工学院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(20805007); 福建省自然科学基金资助项目(2010J01034) |
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| 摘 要： | 开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料,在玻璃上旋涂光刻胶层,制作微流控芯片的工艺.针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点,优化了涂胶、匀胶、预烘、曝光、显影、坚膜等制作工艺步骤,使得制作工艺具有良好的稳定性.自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到36μm,宽度可以达到150 μm,最大有效直线长度可达150 mm,芯片...
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| 关 键 词： | 微流控芯片 光刻胶 镀膜玻璃 |
Study on fabrication technology of microfluidic chip with coated glass |
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| WANG Wei,WANG Zong-wen,CAI Jian-nan. Study on fabrication technology of microfluidic chip with coated glass[J]. Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition), 2011, 39(1): 143-147 |
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| Authors: | WANG Wei WANG Zong-wen CAI Jian-nan |
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| Affiliation: | WANG Wei1,2,WANG Zong-wen1,CAI Jian-nan1,2 (1.Ministry of Education Key Laboratory of Analysis and Detection for Food Safety,Fujian Provincial Key Laboratory of Analysis and Detection Technology for Food Safety,Fuzhou,Fujian 350002,China,2.College of Chemistry and Chemical Engineering,Fuzhou University,Fujian 350108,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microfluidic chip photoresist coated glass |
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