Monte Carlo方法计算X射线空间分辨率

一、引言X射线空间分辨率R_x对于定量电子束显微分析工作是一个很重要的参数。对此,Reed、Duncumb、Castaing等都提出了各自计算R_x的经验公式。这些公式之间差别较大,且都处理成与原子序数无关,即忽略了不同元素中电子散射的差异,另外,在这类公式中,入射电子的束斑直径对R_x的影响也没有准确地反映出来,因此有必要对R_x值进行理论计算。