| 计算机控制光学表面成形中的频域分析 |
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| 引用本文： | 周林,戴一帆,解旭辉,李圣怡.计算机控制光学表面成形中的频域分析[J].中国科学(E辑),2009,39(3):402-408. |
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| 作者姓名： | 周林 戴一帆 解旭辉 李圣怡 |
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| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化学院; |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(“973”计划);;国家自然科学基金(批准号:50775215)资助项目 |
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| 摘 要： | 计算机控制光学表面成形（CCOS）工艺容易在光学零件表面产生中高频误差,从而影响光学系统的性能.为了对中高频误差进行有效控制,以卷积积分模型为基础,主要考虑加工过程的材料去除有效性,提出了修形能力值、材料去除有效率等概念,定量分析了CCOS工艺过程对不同频率成份误差的修正能力.分析得出CCOS工艺过程的材料去除有效率取决于工艺过程的去除函数,正好等于去除函数傅里叶变换的归一化幅值谱.最后,利用离子束成形工艺进行了3个正弦函数面形的刻蚀试验,对理论进行了验证.本文所采用的方法和得出的结论为分析和优化CCOS工艺提供了强有力的数学支持.
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| 关 键 词： | 计算机控制光学 表面成形 光学零件加工 去除函数 材料去除有效率 离子束抛光 |
| 收稿时间： | 2007-10-11 |
| 修稿时间： | 2008-10-23 |
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