| 直拉硅单晶炉热系统的改造对氧、碳含量的影响 |
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| 引用本文： | 申少华,胡波,秦先志.直拉硅单晶炉热系统的改造对氧、碳含量的影响[J].湖南科技大学学报(自然科学版),2009,24(3). |
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| 作者姓名： | 申少华 胡波 秦先志 |
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| 作者单位： | 湖南科技大学,化学化工学院,湖南,湘潭,411201 |
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| 摘 要： | 为了降低大直径硅单晶生长过程中所引入的氧、碳杂质含量,提高硅单晶质量,特对18英寸直拉硅单晶炉的热系统进行了改进.实验结果表明,通过改变氩气流向和加热器的尺寸的改进型热系统,可降低了硅单晶中的氧、碳含量,缩短拉制晶体时间,降低消耗功率,提高硅单晶质量.图10,表1,参13.
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| 关 键 词： | 直拉单晶硅 热系统 氩气流向 加热器 氧、碳含量 |
Influence on carbon and oxygen contents in CZ Si single crystals by improvement of thermal system of furnace |
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| SHEN Shao-hua,HU Bo,QIN Xian-zhi.Influence on carbon and oxygen contents in CZ Si single crystals by improvement of thermal system of furnace[J].Journal of Hunan University of Science & Technology(Natural Science Editon),2009,24(3). |
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| Authors: | SHEN Shao-hua HU Bo QIN Xian-zhi |
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