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相互作用势对溅射模拟计算结果的影响
作者姓名:邵其鋆
作者单位:复旦大学物理二系,复旦大学物理二系,复旦大学物理二系,复旦大学物理二系 上海 200433,上海 200433,上海 200433,上海 200433
摘    要:一、引言 研究固体靶中原子碰撞如背散射、溅射、辐射损伤和离子注入等问题,描述粒子间相互作用的作用势起十分重要的作用。这是因为经典两体碰撞散射角θ(ε,b)与作用势B(x)有如下关系:

关 键 词:溅射 相互作用势 蒙特卡罗模拟
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