| 四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究 |
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| 引用本文： | 王蕊,牛立刚,贺媛,李昕,纪永成,郭文滨.四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究[J].吉林大学学报(信息科学版),2019,37(5):507-511. |
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| 作者姓名： | 王蕊 牛立刚 贺媛 李昕 纪永成 郭文滨 |
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| 作者单位： | 吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学 电子科学与工程学院,长春,130012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目( 61674066; 61875072) |
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| 摘 要： | 为了解决半导体掺杂浓度的测试问题，需要采用简单易行的方法对半导体进行测试。在微电子技术领域，四探针技术一直是测量电阻率的常用方法。结合吉林大学在半导体器件物理与实验精品课程的建设，以训练学生对半导体物理学专业知识的理解和掌握，笔者对四探针法测试半导体掺杂浓度进行了实验研究。通过建立半无限大和无限薄层两个理论模型，对不同厚度半导体材料的电阻率测试方法进行了实验研究，并对原理进行了讨论。为了解决商用测试设备昂贵且无法满足实验教学需求的问题，笔者提出自制实验测试装置，采用钨合金的简易手动探针台，并根据实验需要自行设计了四探针测试架。实践应用表明: 四探针测试系统的建立可以完成测量
半导体掺杂浓度的任务，满足了半导体物理实验的教学需求，取得了较好的教学效果。
关键
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| 关 键 词： | 四探针测量法 电阻率 掺杂浓度 |
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