| 用双束溅射法在不同基片上淀积DLC膜的研究 |
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| 引用本文： | 王维洁 黄良甫. 用双束溅射法在不同基片上淀积DLC膜的研究[J]. 兰州大学学报(自然科学版), 1992, 28(2): 66-70 |
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| 作者姓名： | 王维洁 黄良甫 |
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| 作者单位： | 兰州大学材料科学系 兰州730000(王维洁，王天民，刘贵昂)，兰州物理研究所 兰州730000(黄良甫，罗崇泰，杨一民，刘定权)，兰州物理研究所 兰州730000(徐明) |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 薄膜生长 双离子束溅射 淀积 DLC膜 |
Study on the DLC Films Deposited on Different Substrates by Dual-Ion Beam Sputtering Method |
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| Wang Weijie,Wang Tianmin Liu Guiang. Study on the DLC Films Deposited on Different Substrates by Dual-Ion Beam Sputtering Method[J]. Journal of Lanzhou University(Natural Science), 1992, 28(2): 66-70 |
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| Authors: | Wang Weijie Wang Tianmin Liu Guiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin film growth structure properties Dual-ion beam sputtering deposition Diamond-like Carbon films |
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