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| 单个准分子激光脉冲和位相光栅模板制作表面周期结构 | |
| 作者姓名： | 骆桂蓬() 王牧() 祝世宁() 陆延青() 刘治国() 韦钰() 吴海明() 韦钰() 闵乃本()() |
| 作者单位： | [1]南京大学固体微结构物理国家重点实验室 [2]东南大学分子与生物分子电子学实验室 |
| 摘 要： | 近年来,准分子激光器(excimer laser)以其高能量的脉冲式紫外(193nm或248nm)激光输出特征而被人们用于部分薄膜材料的加工和制备,其原理是用聚焦后的准分子激光脉冲对靶材进行轰击,一定条件下将轰击出来的靶材颗粒均匀沉积在基片上便可以生长出薄膜结构,这种方法又称为PLD(Pulse laser deposition)技术.利用准分子激光器和石英位相光栅模板,人们已经在光敏光纤和光敏光波导中写入了性能良好的Bragg折射率光栅,由于LiNbO_3(LN)和 LITaO_3(LT)这两种重要的光学晶体均对准分子激光波长(248 nm)产生强烈吸收,所以当它们被该激光照射时,激光能量将被晶体吸收并产生热量.如果激光的能量密 |
| 关 键 词： | 准分子激光脉冲 位相光栅模板 表面周期结构 |
| 收稿时间： | 1997-02-18 |
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